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该杂志刊期列表
- 2026年
- 1期
国内刊号：51-1125/TN
国际刊号：1001-3806
发布日期:
作者：洪志坤, 曾延安, 鲍天驰
关键词：光电子学, 光致发光, 高光谱探测, 晶圆缺陷
为了实现对晶圆上的微发光二极管（mini-LED）内部缺陷高效快速的检测，采用基于半导体光致发光的高光谱成像探测的方法，进行了理论分析和实验验证，取得了不同测试条件下的正常mini-LED样品和异常mini-LED样品的光谱和成像数据。结果表明，在正常样品中，光致发光光谱与电致发光光谱数据的协方差大于0.977，展现出较好的光谱一致性，因此在正常样品中可以用光致发光光谱表征电致发光光谱；而对于异常的样品，其光致发光光谱都存在较大的黄带发光峰，因此能被有效地识别出来；通过高光谱探测的方法不仅可以对晶圆进行整体成像，也可以对任意局部区域光谱进行采集分析，从而对mini-LED芯片质量进行全面高效快速地检测。该研究为未来高光谱成像在半导体晶圆巨量检测分析应用提供了有益的参考。
来源：2025年第6期
《激光技术》期刊编辑部
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