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该杂志刊期列表
- 2026年
- 1期
国内刊号：51-1125/TN
国际刊号：1001-3806
发布日期:
作者：陈钊, 李惠, 钟础宇, 张幸, 苗威, 王彬, 张帅一
关键词：激光器, 垂直腔面发射激光器, 高速调制, 聚酰亚胺平面化, 简化工艺
为了简化工艺，提高面发射激光器的调制带宽与数据传输速率，采用多量子阱有源区设计、介质平面化工艺制备、氧化约束限制等方法，制备了一种发射波长为850 nm的垂直腔面发射激光器(VCSEL)。工艺上采用低介电常数的聚酰亚胺(PI)进行平面化，而非高速VCSEL芯片上常用的苯并环丁烯, 研究了基于PI胶平面化工艺的高速器件的寄生响应。结果表明，在低偏置电流下，具有3 μm氧化孔径的VCSEL显示出最大调制带宽为25.2 GHz，谐振频率为24.3 GHz，寄生截止频率为13.2 GHz，调制电流效率因子为22.726 GHz/mA1/2, D因子为19.670 GHz/mA1/2，阈值电流和微分电阻分别达到0.27 mA和215.965 Ω，最大光输出功率为0.9 mW; PI方案可用于调制带宽为25 GHz及以下的产品。这一结果对简化工艺、提高面发射激光器的数据传输速率具有一定的指导意义。
来源：2025年第1期
《激光技术》期刊编辑部
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