激光技术

北大核心,CA,INSPEC,JST,Pж(AJ)

国内刊号:51-1125/TN

国际刊号:1001-3806

激光技术杂志2024年第6期:基于SiN平板波导光栅的128通道光学相控阵

发布日期:

作者:马鹏飞, 于磊, 王政, 王鹏飞, 张冶金, 潘教青

关键词:集成光学, 衍射, 光栅, 光学相控阵

为了避免全硅光学相控阵(OPA)的输出光功率饱和现象以及氮化硅的低移相效率,采用硅与氮化硅相结合的设计思路, 在实现高功率输入的同时保证了调相效率;此外,硅基集成OPA为了避免通道间的相互耦合所引起的相位噪声,波导间距大于半波长,导致栅瓣的存在,进而使得扫描范围受限,故采用硅波导作为天线前的输入波导, 以减小阵元间距。结果表明,芯片最终实现了41°×7.4°的扫描范围以及10.7 dB的芯片损耗。该研究对于OPA芯片的进一步改进是有帮助的。

来源:2024年第6期

《激光技术》期刊编辑部

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