声明
严正声明：本站非期刊官网，非中介代理。
本站仅提供学术规范服务：快速预审、润色编辑服务、中英文查重、降重、去重服务、推荐合适的期刊投稿等学术规范服务。 如需提供学术规范服务请联系在线编辑。
该杂志刊期列表
- 2026年
- 1期
国内刊号：51-1125/TN
国际刊号：1001-3806
发布日期:
作者：齐立涛, 刘凤聪
关键词：激光技术, 激光加工CH膜, 工艺实验, 266nm纳秒固体激光, 微孔, 烧蚀特征, 材料去除
为了研究266nm纳秒固体激光在CH膜上打孔的工艺规律和材料去除机理，采用单因素控制变量的方法，进行了单脉冲和多脉冲打孔的实验研究，分析了266nm纳秒固体激光对CH膜材料的去除机理；取得了激光脉冲能量、脉冲数量对孔径和孔深影响规律的数据。结果表明，单脉冲打孔条件下，当激光脉冲能量为0.014mJ时，微孔直径和深度最小，当激光脉冲能量为0.326mJ时，微孔直径和深度最大，孔径和孔深随着激光脉冲能量的增大而增大；多脉冲打孔条件下，当激光脉冲能量较低时，激光对CH膜的单脉冲烧蚀率约为0.56μm/pulse，当激光脉冲能量较高时，激光对CH膜的单脉冲烧蚀率约为1μm/pulse，孔径和孔深随着激光脉冲数量的增加而增大；266nm纳秒固体激光在CH膜上打孔时的微孔形状规则，大小均匀，微孔周围无残渣、碎屑等抛出物，边缘无热影响区，可推断其材料去除机理主要为“光化学蚀除”。该研究对266nm纳秒固体激光加工CH膜的应用具有一定的参考意义。
来源：2022年第6期
《激光技术》期刊编辑部
严正声明：本站非期刊官网，非中介代理。
本站仅提供学术规范服务：快速预审、润色编辑服务、中英文查重、降重、去重服务、推荐合适的期刊投稿等学术规范服务。 如需提供学术规范服务请联系在线编辑。